Materiales y Tecnologías para semiconductores
Combinando gases de alta pureza con químicos y un alcance global junto a tecnología innovadora para la mejor experiencia de cliente posible
A través de décadas de experiencia en materiales primarios, desarrollamos capacidades únicas de valor agregado para la fabricación de semiconductores a través de la red de nuestro Centro Global de Excelencia.
Nuevos materiales y tecnologías de gas corrosivo
Alineados con la Hoja de Ruta Internacional para semiconductores (ITRS por sus siglas en Inglés), pasados y recientes desarrollos en nuestras instalaciones en San Marcos (EUA), incluyen hexafluoruro de tungsteno ultra-puro (WF6) y nuevos precursores para los procesos ALD de alto-k.
Gases raros y halógenos
Permitiendo desarrollos en litografía profunda de ultravioleta, nuestra planta Alpha (EUA) ha logrado mezclas de alta pureza de gas halógeno por láseres excimer de 248nm y 193nm. Áreas adicionales de experiencia incluyen también el reciclaje de xenón y de gases y químicos isotópicamente enriquecidos.
Tecnología de Flúor para limpieza de cuartos limpios
Nuestras instalaciones en Inju (Korea) están siendo pioneras en la última generación de generadores de flúor modulares de bajo costo. Esta tecnología de cero emisiones está creciendo en importancia a medida que la industria enfrenta una legislación severa en materia ambiental.
También estamos involucrados en un programa de desarrollo conjunto con grandes clientes, OEMs, cuerpos académicos y consorcios industriales.
Espectro completo
Ofrecemos el más completo conjunto de gases para apoyar todos los procesos de manufactura de semiconductores:
Gases de volumen ultra-puros
Generadores de gas en sitio
Gases especiales electrónicos en cilindro y volumen.
Gases en volumen para Electrónica | Gases especiales en Electrónica |
Nitrógeno | Gases de origen de silicio |
Hidrógeno | Crecimiento de Nitruro / Oxido |
Argón | Dopaje e implantes |
Oxígeno | Metal y grabado dieléctrico |
AUECC, una compañía del Grupo Linde, se especializa en la manufactura y distribución de químicos húmedos ultra-puros para la industria global de la microelectrónica. Descubra más.
Experiencia en sistemas y servicio
Adicionalmente, ofrecemos un conjunto completo de servicios profesionales para permitirle enfocarse en su negocio principal y mantener las operaciones arriba y andando. Estos se extienden desde diseños a la mano y servicios de instalación hasta manejo fin-a-fin de sus sistemas de gas, e incluyen:
Sistemas de distribución y almacenamiento de gases de volumen
Sistemas especiales de gas en volumen (BSGS)
Gabinetes de gas y colectores para distribución de gas
Gestión total de gas y químicos.
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~A través de décadas de experiencia en materiales primarios, desarrollamos capacidades únicas de valor agregado para la fabricación de semiconductores a través de la red de nuestro Centro Global de Excelencia.
Nuevos materiales y tecnologías de gas corrosivo
Alineados con la Hoja de Ruta Internacional para semiconductores (ITRS por sus siglas en Inglés), pasados y recientes desarrollos en nuestras instalaciones en San Marcos (EUA), incluyen hexafluoruro de tungsteno ultra-puro (WF6) y nuevos precursores para los procesos ALD de alto-k.
Gases raros y halógenos
Permitiendo desarrollos en litografía profunda de ultravioleta, nuestra planta Alpha (EUA) ha logrado mezclas de alta pureza de gas halógeno por láseres excimer de 248nm y 193nm. Áreas adicionales de experiencia incluyen también el reciclaje de xenón y de gases y químicos isotópicamente enriquecidos.
Tecnología de Flúor para limpieza de cuartos limpios
Nuestras instalaciones en Inju (Korea) están siendo pioneras en la última generación de generadores de flúor modulares de bajo costo. Esta tecnología de cero emisiones está creciendo en importancia a medida que la industria enfrenta una legislación severa en materia ambiental.
También estamos involucrados en un programa de desarrollo conjunto con grandes clientes, OEMs, cuerpos académicos y consorcios industriales.
Espectro completo
Ofrecemos el más completo conjunto de gases para apoyar todos los procesos de manufactura de semiconductores:
Gases de volumen ultra-puros
Generadores de gas en sitio
Gases especiales electrónicos en cilindro y volumen.
Gases en volumen para Electrónica | Gases especiales en Electrónica |
Nitrógeno | Gases de origen de silicio |
Hidrógeno | Crecimiento de Nitruro / Oxido |
Argón | Dopaje e implantes |
Oxígeno | Metal y grabado dieléctrico |
AUECC, una compañía del Grupo Linde, se especializa en la manufactura y distribución de químicos húmedos ultra-puros para la industria global de la microelectrónica. Descubra más.
Experiencia en sistemas y servicio
Adicionalmente, ofrecemos un conjunto completo de servicios profesionales para permitirle enfocarse en su negocio principal y mantener las operaciones arriba y andando. Estos se extienden desde diseños a la mano y servicios de instalación hasta manejo fin-a-fin de sus sistemas de gas, e incluyen:
Sistemas de distribución y almacenamiento de gases de volumen
Sistemas especiales de gas en volumen (BSGS)
Gabinetes de gas y colectores para distribución de gas
Gestión total de gas y químicos.